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机械真空泵真空的获得及分类

目前真空技术所涉及的压力范围为105Pa~10-13Pa,这样宽的压力范围是任菏笮庞耐净种获得真空的设备—真空泵都不能单独实现的,因而需要用不同结构的真空泵来实现。按工作原理分述几类真空泵

利用转动或滑动等机械运动获得真空的泵叫机械真空泵,其可分为以下几种:

(1)往复真空泵。它是借泵腔内活塞往复运动,将气体压缩并排出的容变真空泵。极限真空度:单级约达103Pa;双级约达10Pa。抽气速率为45m3/h~20000m3/h.

(2)水环真空泵。它是利用水环旋转变容的真空泵。极限真空度:单级约达103Pa;双级约达102Pa。抽气速率0.25m3/h~500m3/h。

(3)油封旋转式真空泵。它是用油保持密封,靠旋转的偏心凸轮在缸内旋转而抽气的泵,包括定片真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵和余摆线真空泵。在气相沉积技术中,旋片真空泵用得很多,极限真空度约达10-1Pa(单级)和10-2Pa(双级)。抽气速率为1L/s~500L/S。另外,也有采用滑阀真空泵,极限真空度约达l0Pa(单级)和10-1Pa(双级)。抽气速率1L/S~600L/s.

(4)罗茨真空泵。它是泵内装有两个反向同步旋转的双叶形或多叶形转子,转子间以及转子与泵壳内壁都保持一定间隙的旋转变容真空泵。该泵在102Pa~1Pa之间有较大的抽速,完全可以弥补旋转机械泵和油扩散泵在此压力范围内抽速不足的缺陷,在真空系统中起增压作用,故又称机械增压泵。其极限真空度约达10-2Pa。抽气速率为15L/s~40000L/s.罗茨泵不能单独使用,必须和前级泵串联使用。

(5)涡轮分子泵。它是一种机械高真空泵,装有带槽的圆盘或带叶片的转子。转子在定子对应圆盘间旋转,线速度转动的数量级与气体分子相同,泵正常工作适于在分子流状态下。极限真空度约达10-8Pa或更高,抽气速率一般在5000L/s以下。

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