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真空系统用泵的选择方法

考虑某真空系统用何种真空泵,首先应根据系统的要求,其次应对该泵性能特点有详细了解,比较了各种泵的优缺点后,再决定之,这样才能选用得适当。为便于选择所要使用的真空泵,现将十大信誉网赌网站国生产的各种类型真空泵总的情况归纳总结一下,简略比较它们的特性和优缺点,看来是必要的。

一、油封机械泵

现生产的2X型旋片泵均为双级,抽速为0.5~150升/秒,有全系列的产品。

滑阀泵分单级(H型)、双级(2H型)。抽速:H型为8~600升/秒;2H型为8~70升/秒。亦有成系列生产的产品。

余摆线式泵抽速可很大,体积小,目前正在试生产。

这类泵均用作获得低真空,或作高真空泵的前级泵和预抽泵。带有气镇装置的可抽除潮湿空气。但极限真空比抽干燥空气(不用气镇时)低一个数量级。泵的抽速系指进口压强在760托时之抽速,当系统压强下降时抽速亦下降,直至接近该泵的极限真空,抽速亦接近于零。其抽降系数有一定规定。

二、机械增压泵(罗茨泵)

工作压强范围10~5x10-4托,常用范围2~5x10-3托,抽速范围150~2000升/秒,十大信誉网赌网站国已有成系列产品。这种泵最大抽速在2托~10-2托之间,需要前级泵,不能直接向大气排气。极限真空随前级泵变化。与油增压泵相比,工作压强范围较宽,最大排气压强较高(机械增压泵10~30托,油增压泵1~2托),返流油蒸气很少,用它抽除含有水蒸气等可凝性气体时较合适。

三、油增压泵

工作压强范围1~1x10-4托,常用范围在0.1~1x10-2托,抽速范围200~40000升/秒,弥补了机械泵、扩散泵在此压强范围内抽速小的缺陷。对惰性气体与其他气体有相同的抽速。

四、油扩散泵

普通油扩散泵的工作压强范围10-2~5x10-7托,常用范围10-8~5x10-6托,抽速范围20~100000升/秒,金属、玻璃结构的扩散泵均成系列生产。超高真空油扩散泵极限压强约为10-10托,除结构与普通油扩散泵略有一点差异外,主要是工作液不同,结构材料不同,即用275硅油等作泵液,结构材料用不锈钢。新设计的超高真空泵差异就较大了。

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